SEMI簡介
SEM是半導體設備與材料的國際性組織（Semiconductor Equipment and Materials International）的簡稱，成立于1970年，總部位于美國加州，是半導體工業(yè)的全球執(zhí)行聯(lián)盟。
SEM下屬的安全工作小組為了降低機械危害的風險，制定了一套適用于半導體及顯示器材料和制造設備的全球性標準和法規(guī)，成為半導體業(yè)界對設備系統(tǒng)的必備的規(guī)格要求
SEMI標準中有材料（M系列）、設備（F系列）、平板顯示器（D系列）、跟蹤性（T系列）等，環(huán)境·健康·安全（EHS）由S系列規(guī)定。
SEMI S2認證簡介
SEMIS2認證是針對制程設備供貨商所規(guī)范的基本健康和安全要求安全標準，符合SEMI S2不僅符合了國際相關規(guī)定，也是半導體產(chǎn)業(yè)的公司所要求的必要條件之一。
SEMIS2認證以效能考量為主，涵蓋導體制造設備的環(huán)境、健康及案件條件，具體來說，該標準涉及電氣、機械、防火、化學、輻射、噪音和防震等各方面的安全領域，代表了半導體廠家的基本安全要求。
與其他SEMI指令相比，例如，SEMI S3（人體工學要求）和SEMI S10（風險評估）一起使用，SEMI S2代表了 導體廠家的基本安全要求。過去半導體業(yè)者為了降低機械危害的風險，采取非常多類別的防制與管理措施，其中最典型的措施是在采購設備系統(tǒng)時，即將SEMI S2安規(guī)認證列為必備的規(guī)格要求。
SEMI系列常見標準
SEMI S1-Safety Guideline for Visual Hazard Alerts裝置安全標簽
SEMI S2-Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment半導體生產(chǎn)裝置的環(huán)境、健康、安全SEMI S3-Safety Guidelines for Heated Chemical Baths熱化學槽的安全性
SEMI S4-Safety Guideline for the Segregation/Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets櫥柜收納高壓氣筒的隔離/分離SEMI S5-Safety Guideline for Flow Limiting Devices流量限制設備
SEMI S6-Safety Guideline for Ventilation換氣
SEMI S7-Safety Guidelines for Environmental，Safety and Health Evaluation of Semiconductor Manufacturing Equipment半導體生產(chǎn)裝置的環(huán)境、健康、及安全性（ESH）評價
SEMI S8-Safety Guidelines for Ergonomics/Human Factors Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment體生產(chǎn)裝置的人機工程學SEMI S9-Electrical Test Methods for Semiconductor Manufacturing Equipment半導體生產(chǎn)裝置的電氣設計驗證試驗SEMI S10-Safety Guideline for Risk Assessment風險核查
SEMIS11-Environmental，Safety，andHealth uidelines forSemiconductorManufacturing Equipment Minienvironments半導體生產(chǎn)裝置的小環(huán)境的環(huán)境、安全性及健康
SEMI S12-Guidelines for Equipment Decontamination裝置的去污
SEMI S13-Safety Guidelines for Operation and Maintenance Manuals Used with Semiconductor Manufacturing Equipment半導體生產(chǎn)裝置的操作及維護手冊
SEMI S14-Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment對半導體生產(chǎn)裝置的火災風險評估和降低
SEMI S15-Safety Guidelines for the Evaluation of Toxic and Flammable Gas Detection Systems有毒及易燃氣體的檢測系統(tǒng)評價SEM1F47-Voltage Sag Standard電壓瞬變能力規(guī)范
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